Korrekturwerte für die Slaveachse (P-COMP-00016)
Mit dem Parameter "kw.crosscomp2.table[j][i].correction" werden die relativen Korrekturwerte für die Slaveachse an den Stützpunkten [j][i] definiert. Bei der Indizierung der Stützpunkte in der Korrekturwertliste bezieht sich immer der erste Index j auf die zweite Masterachse.
Variablenname | Typ | erlaubter Bereich | Achstyp | Dimension |
correction | SGN32 | MIN(SGN32) < correction < MAX(SGN32) | T | 0,1µm oder Inkremente |