Korrekturwerte für die Slaveachse (P-COMP-00007)

Mit dem Parameter "kw.crosscomp.table[i].correction" werden die relativen Korrekturwerte für die Slaveachse an den Stützpunkten i definiert.

Variablenname

Typ

erlaubter Bereich

Achstyp

Dimension

correction

SGN32

MIN(SGN32) < correction < MAX(SGN32)

T

0,1µm oder Inkremente